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应用领域
★ PI表面粗化及清洁
★ PCB孔内除胶、表面清洁
★ FPC孔内除胶、表面清洁
★ 电子材料表面粗化、清洁
★ COVERLY表面粗化、清洁
产品特点
★ 工艺简单，处理过程自动控制
★ 产品处理时间短，效率高
★ 多种制程气体使用
★ 设备操作简单方便，稳定性高，易于维护
★ 可根据客户需求定制专用规格机台
产品规格
机台尺寸 | 1865(W)*1810(D)*2105(H)mm |
真空腔体尺寸 | 675(W)*1455(D)*960(H)mm |
电极有效尺寸 | 22"*50" |
电极分布 | 13层 |
输出功率 | 10KW |
输出频率 | 40KHz |
电力 | 380VAC/100A/3PH/50Hz |
可加载气体 | 四种(O2,N2,CF4,H2) |
冰水机 | |
真空泵浦 | |