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产品特点
高密度等离子源，等离子效率高，减少制程时间
专利设计之特殊等离子电极
特殊之气体进气、扩散及抽气系统设计
处理之均匀性佳
等离子均匀性佳
可使用多种制程气体
全自动且容易操作
设备稳定高，容易维护
可根据客户需求设计专用特殊规格之机台
相关解决方案
PCB、FPC/PCB, FPC, etc.
印刷或黏着前之表面粗化或清洁
项目 | PD07 |
机台尺寸 | 2000(W)*2100(D)*2626(H)mm |
腔体尺寸 | 1100(W)*1480(D)*1220(H)mm |
腔体材质 | 不锈钢体+铝腔体门 |
电极 | 水冷电极 |
处理能力 | PCB: 28片(20"*24"),可移动式夹具 |
电源供应器 | 10KWatts |
流量计 | 标准四颗(N2, O2, CF4, Ar) 选配一颗 |
压力计 | 760~10-3torr |
真空泵浦 | 干式泵浦+鲁式泵浦 |
冰水机 | |
温度监测系统 | |
台车 |